HyperLith シミュレータ


ウエハートポグラフィ機能 HyperLith Wafer Topography Capabilities



特長

  • ○ 二重露光に最適
  • ○ 液浸気泡、反射切込、非平坦レジスト表面、下地構造
  • ○ TEMPESTpr2によるレジスト内トポグラフィ厳密解
  • ○ ハードウエア加速処理、並列処理
  • ○ ウエハー形状の設定と視覚化を行う強力な3D形状エディター