特長
- ○ 簡単に使えて、且つ強力
- ○ 規定されたマスク技術、パターン、レジストモデルのカスタマイズ、ご自身での簡単なパターン作成機能
- ○ 簡略化したGUIで mask-in-stepper リソグラフィシミュレーションに特化
- ○ LiveView GUIでノーミナルケースの概略シミュレーション結果が素早く見れる
- ○ DUV、液浸、EUV、厳密解/スカラー計算、偏光、収差、レジスト技術
- ○ .simファイルとしてEM-Suiteへexportが可能
- ○ 32/64ビットWindowsとLINUXをサポート
