HyperLithとEM-Suiteとの比較



機能

  • HyperLithはステッパーでのマスク設定"mask-in-stepper"に特化しています
○ 同じ概念
黄色の領域と変数
マスク、結像、レジストのシミュレーション
空中像計算（Aerial）のGUIは殆ど同じです
○ HyperLithだけの特長
ドーズ、閾値、マスクサイズの自動入力
MEF（マスクエラーファクタ）の計算
マスクの自動測定
ボウサンカーブ（Bossungs）やプロセスウインドウなどの自動生成

操作での違い

  • ○ EM-SuiteはHyperLithができること全てが出来ます。
  • ○ HyperLithはステッパーでのマスク設定"mask-in-stepper"に特化しています。
    検査装置などほかのシミュレーションも出来ますが、そのようには設計されていません。
  • ○ HyperLithの操作は大変簡単です。
  • ○ HyperLithでは自動的に、様々な機能を実現し変数などを検知することが出来ます。

その他

○ 入力ファイルの互換性
HyperLithからEM-Suitへ.sim fileが出力できます。逆はできません。
○ HyperLithのグラフィックカードでの高速化
EM-Suiteで達成されているSimRunner+HSSの並列処理は同じようにできます。
○ EM-Suiteでのウエハトポグラフィー機能
EM-Suiteでもウエハトポグラフィー機能を行うことが出来ますが、操作が大変難しいです。 一方、HyperLithを使えば、この機能が設定されており、ウエハトポグラフィー機能が大変簡単に実現できます。
○ 今後の方向
EM-SuiteとHyperLithの両方で機能が充実され保守がなされアップグレードされます。
HyperLithは常にEM-Suiteの低いレベルでのGUIを使用してより優れた機能を実現していますので、 EM-Suiteがなくなることはありません。