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1．技術事項

ユーザが作られたファイルは、MicroTecの実行モジュールのプログラムが入ったディレクトリの中に、プロジェクトファイルとして全て格納されています。プロジェクトファイルは拡張子が　*.dbf　*.mdxのファイルです。このファイルはバックアップが可能で、後で復旧もできます。
MicroTecは、以下の三つの主な操作で動作します。

1．1　プロジェクトの選択／作成スクリーン

この画面は、ユーザがMicroTecを起動すると、最初に現れる画面です。

1．1．1　新しいプロジェクトの作成

• ・新しいプロジェクトはプロジェクトを追加するか、既存のプロジェクトをコピーして作ります。
• ・プロジェクトを追加するには、プロジェクトの名前（project name）を入力し、次に、プロジェクトに適合した方法（method）を選びます。
  そのとき、オプションとしてプロジェクトを簡単に記述しておきます。そしてAdd.をクリックします。
• ・既存のプロジェクトをコピーするには、適合する既存のプロジェクトを選びCopyをクリックします。
  "(copy)"が付加された新しい名前のプロジェクトが作成されます。

1．1．2　プロジェクトのために4つの方法から一つ選択

• ・SiDif (Simulation of Diffusion)はプロセスのシミュレーションに使います。
• ・SemSim (Semiconductor Simulator)は半導体デバイスのシミュレーションに使います。
• ・MergIC(MergeIC)はICの素子の各部分を結合するプログラムです。これでSiDifとSemSimとをリンクします。SiDif>MergIC>SemSimはMergIC(SiDifのoutputがinputとなります)とSemSim(inputはMergICのoutputとなります)の入力ファイルに指定して実行されます。MergICとSemSimの入力はそれぞれのdirectiveの中の"ProjectSettings"を指定してもできます。
• ・BatchModeはSiDifやSemSimだけを実行したり,いくつかの要素（MergIC）から半導体デバイスのプロセスを実行して（SiDif）、それを（SemSim）に渡すことなどが、バッチモードで記述することで可能です。

各プロジェクトに短く内容を記述をしておくと便利です。
Select　Projectのタブをクリックすると、いつでもプロジェクトの選択画面に戻れます。　

1．2　Project の設定と実行

一度、プロジェクトが選択され、作られてから、Project Settingsのタブをユーザがクリックすと次の段階に行きます。
プロジェクト設定（Project Settings ）画面は、directives とパラメータの入った subdirectives treeから構成されています。

Directives

選択した方法によって、異なったdirectivesがあります。
ディレクティブの枝に展開するのには、ディレクティブフォルダーを一度クリックします。
ディレクティブを追加するのには、ルート（プロジェクト名）をハイライトして、所望のものを選択して,そして、右クリックで内容を表示させてます。
それから、Add Directiveで選択します。新しいディレクティブがtreeの下に追加されます。
もう一つの方法は、現在のディレクティブを選択し右クリックし内容のメニューを表示させ、そして、Insert Directiveを選択します。
すると、新しいディレクティブが現在選択したディレクティブの上に追加されます。

Subdirectives

サブディレクティブもディレクティブが追加された同じ方法で追加できます。但し、最初にハイライトするのは、ルートではなくディレクティブです。Add Subdirectiveを選択します。サブディレクティブはディレクティブの下だけに作られます。

Parameters

パラメータはディレクティブが追加されたのと同じ方法で追加できます。ディレクティブを先ずハイライトし、次にAdd Parameterを選択します。
パラメータは所望のパラメータをダブルクリックすることで、編集できます。
ディフォルトとして、パラメータには通常使われる値が設定されています。
一度、全てのパラメータが設定されたら、ユーザはSave Settingsをクリックしてそして、Run（実行）します。
シミュレーションが良好に行われると、2D Outputと3D Outputが太字になります。　

1．3　出力の見方

3D Outputのボタンが太字に変化すれば、シミュレーションは正常に実行され、良好に完了したことを意味します。
シミュレーションの結果を見るには3D Output、又は2DOutputのボタンをクリックします。結果はSibGrafによって表示されます。
2D 又は3D Outputをクリックすると、空の2D 又は3D SibGrafのウインドウが表示されます。

3D Graphs（三次元グラフ）

3Dsurfaceを見るためには、ユーザは最初にツールバーのSurfaceをクリックします。そして、所望のグラフをリストから選択します。
左から最初の四つのボタンで、ユーザはグラフをどの軸に対しても回転させることができます。
次の四つのボタンで、ユーザはどのXまたはYの断面をハイライトすることができます。（これは、カーソルキーでもできます。）
二つのハイライトされた断面の交点でのX,Y,Zの値はSibGrafのステータスバー上で読むことができます。
三番目の最後のボタンでmap graphを描くことができます。
最後の二つのボタンでハイライトされた断面のどちらかを別の２Dグラフとしてプロットすることができます。これは、異なったSurfaceにたいして、繰り返し実行することができます。新しい機能で、同じSibGrafの２Dウインドウで連続してプロットできます。これは、パラメータの影響を見たり、依存性を調べる時には特に有効です。

Maps

map graph viewの設定はViewメニューで変更できます。

2D Graphs（二次元グラフ）

Curveをクリックします。次にAddを、そしてX軸、Y軸にある変数をクリックします。グラフのカーブに加えるために、Addをクリックします。
全てのカーブはCurve/Copy' d（コピー)とCurve/Paste' d（貼付け）がSibgraf 2D windows上で比較するのが可能です。
全てのグラフはマウスでボックスを描くことで、ズームすることができます。
実行と表示が良好になされたら、Project Settingsに戻って値を変えて、再度Save Settingsを行って、シミュレーションの再実行を行います。3D Outputボタンをクリックすると、新しい断面のグラフが設定したSurfaceに対してプロットされています。この時、古いグラフは同じ2Dウインドウで表示されたままになっています。（前の実行の時からSibGraf 2D windowが閉じられていない場合です。）それぞれの新しい断面は、相当する古いウインドウに入っています。新しいドーピング濃度の断面は古いドーピング濃度のカーブと一緒になります。この方法で、パラメータを変更して、又は、ディレクティブを追加したりした影響がどのように変化するか正確に分析することが可能です。　

2．一般的な注意

もし、MicroTecの応答が無くなったり、クラッシュした時は、それ自体で何もできなかったら、MicroTecを先ず、閉じます。そして、MicroTecを開けて、何もしないで、Exitとします。こうすることで、データベースは良好に復旧され、再構築されます。再度、MicroTecを開ければ、そのまま続行できます。
project settingsで単位に注意して下さい。
通常はデフォルトのモデルで十分です。しかし、接合の耐圧やimpact　ionization等を見るには、それぞれのスイッチをONにする必要があります。
ワードやMSペイントにアクティブウインドウをコピーするのには、Alt-PrtScrnのウインドウの組み合わせを使います。
ペイントでは、グラフをPaste' d（貼付け）し、色を変えることができます。最初に、invert coloursオプションを使い、次にblack and whiteオプションを使います。単純に、白黒のビットマップの結果は、どのドキュメントに、貼付けやimportができます。
Basic->Numerical Solution ParametersのBatch Modeパラメータで、この値を零に設定すると、それぞれのiteration毎に、ユーザにデータの解析ができるように計算がステップごとに止まります。エンターキーを押すことで、更に計算を続行できます。Batch Modeを１に設定することで、全ての計算は、連続して実行されます。

製品に関するご質問などについては、sales@intsoft.co.jpまで電子メールでお送りください